[发明专利]一种使用微透镜的光纤干涉仪在审
申请号: | 201711266784.2 | 申请日: | 2017-12-05 |
公开(公告)号: | CN107796423A | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 邹吕宽;王宁;薛飞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | G01D5/353 | 分类号: | G01D5/353;G02B3/02 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种使用微透镜的光纤干涉仪,光纤耦合器的四个臂、激光二极管的出射尾纤和光电探测器的输入端光纤均为单模光纤,由二极管产生的激光从光纤耦合器的输入端的其中一条臂进入光纤耦合器,输出的10%的激光依次通过光纤耦合器的输出端的其中一条臂和微透镜后形成具有较小束腰半径的高斯光束,将悬臂梁样品定位在束腰半径处,所述的光电探测器与光纤耦合器的输入端的另一条臂连接。本发明使用单模光纤和微透镜结构,借助微透镜大的数值孔径和对光束的会聚作用,显著提高了探测系统的光收集能力和样品探测的空间分辨率,有助于拓展光纤干涉仪的应用领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 使用 透镜 光纤 干涉仪 | ||
【主权项】:
一种使用微透镜的光纤干涉仪,其特征在于:包括有高斯光束中的悬臂梁样品、微透镜、光纤耦合器、激光二极管以及光电探测器,其中光纤耦合器的四个臂、激光二极管的出射尾纤和光电探测器的输入端光纤均为单模光纤,由二极管产生的激光从光纤耦合器的输入端的其中一条臂进入光纤耦合器,输出的10%的激光依次通过光纤耦合器的输出端的其中一条臂和微透镜后形成具有较小束腰半径的高斯光束,将悬臂梁样品定位在束腰半径处,所述的光电探测器与光纤耦合器的输入端的另一条臂连接。
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