[发明专利]基底处理设备在审
| 申请号： | 201711267739.9 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108155081A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 辻直人;村主拓也;池户洋三 | 申请（专利权）人： | ASMIP控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/20;C23C16/513 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 翟国明 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 基底处理设备包括：下电极；上电极；第一交流电源，其连接至所述上电极，并且以第一频率供给交流电力；第二交流电源，其连接至所述上电极，并且以低于所述第一频率的第二频率供给交流电力；内电极，其设置在所述下电极中；滤波电路，其连接至所述内电极；以及直流电源，其经由所述滤波电路连接至所述内电极。所述滤波电路包括：第一滤波电路，其相比于处于所述第二频率的交流电力相对于处于所述第一频率的交流电力变为低阻抗；以及第二滤波电路，其相比于处于所述第一频率的交流电力相对于处于所述第二频率的交流电力变为低阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 交流电力 滤波电路 内电极 电极 基底处理设备 交流电源 低阻抗 下电极 直流电源 | ||
【主权项】：
一种基底处理设备，包括：下电极，其由绝缘体形成；上电极，其与所述下电极相对设置；第一交流电源，其连接至所述上电极，并且以第一频率供给交流电力；第二交流电源，其连接至所述上电极，并且以低于所述第一频率的第二频率供给交流电力；内电极，其设置在所述下电极中；滤波电路，其连接至所述内电极；以及直流电源，其经由所述滤波电路连接至所述内电极，所述直流电源设置为用于静电吸盘，其中所述滤波电路包括：第一滤波电路，其相比于处于所述第二频率的交流电力相对于处于所述第一频率的交流电力变为低阻抗；以及第二滤波电路，其相比于处于所述第一频率的交流电力相对于处于所述第二频率的交流电力变为低阻抗。
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