[发明专利]一种手动光刻机的预对准方法及预对准装置在审
| 申请号： | 201711269784.8 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109870885A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王金翠;苏建;徐现刚;肖成峰;郑兆河 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王楠 |
| 地址： | 250101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种手动光刻机的预对准方法及预对准装置，属于手动光刻机设备领域，装置包括掩膜版架和承片台；掩膜版架上设有掩膜版卡槽，掩膜版卡槽与掩膜版尺寸相同，将掩膜版放置在掩膜版卡槽里面；掩膜版卡槽中部中空，中空区为曝光区；承片台上表面设有芯片放置槽，将芯片放置在芯片放置槽里面，芯片放置槽在水平面的投影包括圆弧边和两个相邻直角边，两个直角边分别为芯片小边对准边和芯片大边对准边。两个卡槽的位置可以保证掩膜版上面的对位标记和芯片上面的对位标记基本重合，减小光刻过程中每次放置芯片的偏差，减小光刻过程中芯片图形与光刻版图形的精对准需要的时间，起到了比较好的预对准的作用，提高光刻机的曝光生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 光刻机 卡槽 芯片放置槽 预对准 芯片 预对准装置 对位标记 光刻过程 对准边 减小 光刻版图形 卡槽中部 设备领域 生产效率 相邻直角 芯片放置 承片台 精对准 曝光区 圆弧边 直角边 中空区 中芯片 重合 承片 大边 小边 中空 投影 曝光 保证 | ||
【主权项】：
1.一种手动光刻机的预对准装置，其特征在于，包括掩膜版架和承片台；掩膜版架上设有掩膜版卡槽，掩膜版卡槽与掩膜版尺寸相同，掩膜版卡槽中部中空，中空区为曝光区；承片台上表面设有芯片放置槽，芯片放置槽在承片台的中间位置；芯片放置槽在水平面的投影包括圆弧边和两个相邻直角边，两个直角边分别为芯片小边对准边和芯片大边对准边。
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