[发明专利]便携式激光诱导击穿光谱分析装置在审
申请号: | 201711274257.6 | 申请日: | 2017-12-06 |
公开(公告)号: | CN107782718A | 公开(公告)日: | 2018-03-09 |
发明(设计)人: | 曾爱军;陈国飞;陈宽;刘华;李婧御 | 申请(专利权)人: | 南京先进激光技术研究院 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71;G01N21/01 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种便携式激光诱导击穿光谱分析装置,包括激光器,分束单元,反射镜组,离轴抛物面镜和光谱仪;激光器出射的激光经所述分束单元平行透射到反射镜组,经反射镜组反射后聚焦于待测样品表面;待测样品发出的信号光经反射镜组反射后平行出射到分束单元,激光与信号光在分束单元与待测样品之间的光路同轴,经分束单元反射到离轴抛物面镜,经离轴抛物面镜反射后传输至光谱仪,连接控制盒进行光谱分析与显示。本发明的装置克服了透射式非同轴光谱分析装置的缺点,同时增大了聚焦激光的数值孔径,缩小了焦斑,提高了作用于物体表面的激光能量密度,可降低仪器对激光器能量的要求,具有相当可预见的工业和商业应用的价值。 | ||
搜索关键词: | 便携式 激光 诱导 击穿 光谱分析 装置 | ||
【主权项】:
一种便携式激光诱导击穿光谱分析装置,其特征在于:包括激光器(1),分束单元,反射镜组,离轴抛物面镜(6)和光谱仪(9);所述激光器(1)出射的激光经所述分束单元平行透射到所述反射镜组,经所述反射镜组反射后聚焦于待测样品(5)表面;所述待测样品(5)发出的信号光经所述反射镜组反射后平行出射到所述分束单元,所述激光与信号光在所述分束单元与所述待测样品(5)之间的光路同轴,经所述分束单元反射到所述离轴抛物面镜(6),经所述离轴抛物面镜(6)反射后传输至所述光谱仪(9)。
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