[发明专利]掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 201711275668.7 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108149190B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 龚建国;王衣可;杨颖;冉应刚;吴俊雄;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 叶剑 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜板及其制作方法，所述方法包括：提供掩膜板原料；对所述掩膜板原料的一面进行刻蚀，以使得所述掩膜板原料的厚度减小；对所述掩膜板原料刻蚀后的一面进行磨平处理；对磨平后的所述掩膜板原料进行刻蚀，在所述掩膜板原料上刻蚀出像素开口，形成具有所述像素开口的所述掩膜板。首先经过刻蚀，使得掩膜板原料的厚度减小，进而将掩膜板进行磨平处理后，使得该掩膜板原料能够刻蚀出像素开口间距更小的掩膜板，从而提高了掩膜板的蒸镀的PPI，并且有效避免掩膜板被刻穿，使得掩膜板的结构更为稳固，使得掩膜板的张拉性能更佳，且有效提高了掩膜板的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：提供掩膜板原料；对所述掩膜板原料的一面进行刻蚀，以使得所述掩膜板原料的厚度减小；对所述掩膜板原料刻蚀后的一面进行磨平处理；对磨平后的所述掩膜板原料进行刻蚀，在所述掩膜板原料上刻蚀出像素开口，形成具有所述像素开口的所述掩膜板。
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