[发明专利]引线加工装置及使用该引线加工装置制造的半导体装置有效
申请号: | 201711276009.5 | 申请日: | 2017-12-06 |
公开(公告)号: | CN108155119B | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 上田哲也;亦贺慎二;坂本健 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在引线加工装置(1)处,半导体装置(51)配置为将封装树脂体(57)的表面(57a)朝上,外部端子(61)的凸出方向成为上方。在一方的外部端子(61)和另一方的外部端子(61)之间插入模板(5)。以与模板(5)相对的方式配置脱模板(7)。在该状态下,通过朝向模板(5),在与外部端子(61)的凸出方向交叉的方向上使冲头(41)移动,从而将连接杆(69)等切除。在模板(5)形成有供冲头(41)插穿的插穿孔(5a)。 | ||
搜索关键词: | 引线 加工 装置 使用 制造 半导体 | ||
【主权项】:
一种引线加工装置,其对下述状态的半导体装置实施加工,即,形成有通过封装树脂将半导体元件进行了封装的封装树脂体,将所述半导体元件和外部电连接的多个外部端子由连接杆连接,所述多个外部端子从所述封装树脂体的表面向第1方向凸出,该引线加工装置具备:模板,在该模板沿着与所述第1方向交叉的第2方向形成有插穿孔,在以所述多个外部端子从所述表面凸出的所述第1方向成为上方的方式,将所述封装树脂体的所述表面朝上而配置了所述半导体装置的状态下,通过使该模板朝向所述封装树脂体的所述表面而沿着所述第1方向移动,从而使该模板被配置为与所述多个外部端子相对;以及冲头,在以与所述多个外部端子相对的方式配置了所述模板的状态下,通过使该冲头相对于所述多个外部端子,从与所述模板的配置侧相反侧朝向所述模板的所述插穿孔而沿着所述第2方向移动,从而切除将所述多个外部端子连接的所述连接杆,将从所述封装树脂体凸出的树脂毛边切除。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造