[发明专利]带周期分布柔性子系统的嵌套环式MEMS振动陀螺有效
| 申请号： | 201711276017.X | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108007449B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 肖定邦;吴学忠;侯占强;李青松;周鑫;许一;席翔;周剑;卓明;胡倩;王鹏 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带周期分布柔性子系统的嵌套环式MEMS振动陀螺，包括谐振结构的MEMS振动陀螺本体，所述谐振结构包括呈圆形的中心固定锚点，所述中心固定锚点外侧设有多个依次嵌套的呈圆形结构的嵌套环，相邻嵌套环之间通过辐条相连，相邻嵌套环的相邻辐条之间设有柔性子系统，所述柔性子系统包括呈弧形带状的质量块和软梁，所述质量块的两侧分别通过软梁与嵌套环相连。本发明与传统嵌套环式MEMS陀螺谐振结构1相比，其优点在于通过柔性系统耦合降低系统频率进而实现较高的热弹性Q值，从而提高陀螺的机械灵敏度，提升陀螺的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 周期 分布 柔性 子系统 嵌套 mems 振动 陀螺 | ||
【主权项】：
1.一种带周期分布柔性子系统的嵌套环式MEMS振动陀螺，包括谐振结构(1)的MEMS振动陀螺本体，所述谐振结构(1)包括呈圆形的中心固定锚点(11)，所述中心固定锚点(11)外侧设有多个依次嵌套的呈圆形结构的嵌套环(12)，相邻嵌套环(12)之间通过辐条(13)相连，其特征在于：至少一对相邻嵌套环(12)的所有相邻辐条(13)之间设有柔性子系统(14)，所述柔性子系统(14)包括呈弧形带状的质量块(141)和软梁(142)，所述质量块(141)的两侧分别通过软梁(142)与辐条(13)相连。
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