[发明专利]一种锡基钎料互连焊点的电子背散射衍射样品的制备方法

摘要

一种锡基钎料互连焊点的电子背散射衍射样品的制备方法属于电镜样品制备技术领域。其工艺步骤为：粗磨、粗抛、二次抛光、清洗。其中粗抛过程中的抛光粉为0.3～0.5μm的α‑氧化铝抛光粉，二次抛光过程中的抛光液为0.02～0.05μm的氧化硅悬浮液。本发明对样品的尺寸没有限制，制备工艺简单，无机械研磨工艺，无需使用仪器、设备，不受场地、设施限制，抛光效果好。可以容易的制备锡基钎料焊点EBSD样品，可在扫描电子显微镜上获得清晰的EBSD取向成像图。

主权项

1.一种锡基互连焊点的电子背散射衍射样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)粗磨：将锡基钎料焊点样品用1500#～2000#砂纸磨光，用水做润滑剂；沿同一个方向粗磨3-10min，将样品表面磨平，并去除样品表面氧化层，使得样品表面划痕沿同一方向；无需机械研磨；清洗并吹干；用显微镜观察锡基钎料焊点表面，以确定样品表面划痕沿同一方向；(2)粗抛：提前配好的α-氧化铝抛光液，即用质量比为1：5的0.3～0.5μm的α-氧化铝抛光粉与去离子水均匀混合制备成的抛光液；将α-氧化铝抛光液倒在纤维绒毛抛光布上，随后对锡基钎料焊点样品进行粗抛5-10min；无需机械抛光；清洗并吹干；通过正交偏振光显微镜PLM观察抛后样品表面，确定砂纸留下的划痕已被去除，并且没有应力存在；(3)二次抛光：将0.02～0.05μm二氧化硅悬浮抛光液倒在合成氧化物抛光布上，对粗抛过的锡基钎料焊点样品再次抛光3-5min；无需机械抛光；清洗并吹干；通过PLM观察抛光后样品表面，确保样品表面没有划痕，得到用于EBSD技术观测的锡基互连焊点样品。