[发明专利]竖直的锯齿结构X射线折射透镜在审
| 申请号： | 201711278125.0 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108288512A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 黄其煜;徐剑 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种竖直的锯齿结构X射线折射透镜，包括：基底以及设置在所述基底上的两个锯齿状单元；其中两个所述锯齿状单元相向设置，两个所述锯齿状单元一端的锯齿的齿尖相连，两个所述锯齿状单元另一端的锯齿的齿尖分离。与现有技术相比，本发明的有益效果如下：透镜一次成型，结构稳定，有效避免了两半平面锯齿结构X射线透镜间的对准和可能的使用中的移位问题。本发明提出的竖直的锯齿结构X射线透镜降低了对工艺的要求，既可以采用普通的ICP设备或者Bosch工艺进行硅或锗的深刻蚀，又可以采用软X射线曝光的方法在PMMA上获得更高的结构，还可以进一步采用LIGA工艺以PMMA为母版进行电铸。这些都是一体化成型的精密加工方法，重复性好，适于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 锯齿状 锯齿结构 竖直 锯齿 折射透镜 齿尖 基底 透镜 一体化成型 结构稳定 精密加工 平面锯齿 相向设置 一次成型 移位问题 软X射线 深刻蚀 电铸 母版 对准 曝光 生产 | ||
【主权项】：
1.一种竖直的锯齿结构X射线折射透镜，其特征在于，包括基底以及设置在所述基底上的两个锯齿状单元；其中两个所述锯齿状单元相向设置，两个所述锯齿状单元一端的锯齿的齿尖相连，两个所述锯齿状单元另一端的锯齿的齿尖分离。
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