[发明专利]基于硫化铼纳米器件的有机气体检测芯片

摘要

本发明公开了一种基于硫化铼纳米器件的有机气体检测芯片，利用硫化铼(ReS2)纳米材料电学性质的各向异性性质及有机气体吸附引起的电学各向异性性质的变化作为气体检测的维度，实现有机气体的定性、定量检测。本发明基于硫化铼纳米器件的有机气体检测芯片的结构及制备方法简单，检测灵敏度高，能够实现有机气体的定性、定量识别；该有机气体检测芯片尺寸为微米级，超低功耗，其制备工艺为标准的集成电路(IC)制造工艺，与片上系统(SOC)集成工艺兼容，可以将器件方便的嵌入各种移动终端，便于有机气体的实时监测。

主权项

1.一种基于硫化铼纳米器件的有机气体检测芯片，其特征在于：包括硫化铼纳米薄片、第一电极、第二电极和二氧化硅基底；所述的硫化铼纳米薄片与二氧化硅基底上表面贴合，所述的第一电极、第二电极沿着硫化铼的各向异性轴生长。