[发明专利]仿生蜘蛛琴形感受器结构的声表面波传感器増敏结构

摘要

本发明提供了一种仿生蜘蛛琴形感受器结构的声表面波传感器増敏结构，包括：等强度悬臂梁、孔缝组、力敏声表面波谐振器；等强度悬臂梁整体为具有矩形前端的等腰梯形结构，等腰梯形结构的末端为等强度悬臂梁的固定端；孔缝组设置于等强度悬臂梁上，并靠近等强度悬臂梁的固定端；力敏声表面波谐振器设置于等强度悬臂梁上，并位于孔缝组的上方。本发明可以极大提高声表面波传感器的灵敏度，且保持较高的量程。本发明可应用于多种传感器，如压力传感器、振动传感器、陀螺仪、谐振器等,在井下环境检测、汽车工业、军事航天等领域均有广泛应用。

主权项

1.一种仿生蜘蛛琴形感受器结构的声表面波传感器増敏结构，其特征在于，包括：等强度悬臂梁(1)、孔缝组(2)、力敏声表面波谐振器(3)；其中：所述等强度悬臂梁(1)整体为具有矩形前端的等腰梯形结构，等腰梯形结构的末端为等强度悬臂梁(1)的固定端，在使用状态下，外界作用力施加在矩形前端；所述孔缝组(2)设置于等强度悬臂梁(1)上，并靠近等强度悬臂梁(1)的固定端；所述力敏声表面波谐振器(3)设置于等强度悬臂梁(1)上，并位于孔缝组的上方。