[发明专利]像素单元及其制造方法以及成像装置有效

专利信息
申请号: 201711283564.0 申请日: 2017-12-07
公开(公告)号: CN108054178B 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 柯天麒;姜鹏;汤茂亮 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 刘倜
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本公开涉及像素单元及其制造方法以及成像装置。像素单元可以包括:衬底,所述衬底包括非晶半导体层以及在非晶半导体层上的结晶半导体层。所述衬底包括用于光电器件的第一部分和用于与所述光电器件耦合的晶体管的第二部分。所述第一部分包括第一掺杂区以及在第一掺杂区之上的第二掺杂区,其中,所述第二掺杂区的导电类型与所述第一掺杂区的导电类型相同。所述第二部分包括与所述第二掺杂区相邻的沟道形成区,其中所述沟道形成区的导电类型与所述第二掺杂区的导电类型相反。所述第一掺杂区的至少一部分设置在所述非晶半导体层中。所述第二掺杂区的至少一部分设置在所述结晶半导体层中。
搜索关键词: 像素 单元 及其 制造 方法 以及 成像 装置
【主权项】:
1.一种像素单元,其特征在于,包括:衬底,所述衬底包括非晶半导体层以及在非晶半导体层上的结晶半导体层,所述衬底包括用于光电器件的第一部分和用于与所述光电器件耦合的晶体管的第二部分,其中所述第一部分包括第一掺杂区以及在第一掺杂区之上的第二掺杂区,其中,所述第二掺杂区的导电类型与所述第一掺杂区的导电类型相同;所述第二部分包括与所述第二掺杂区相邻的沟道形成区,其中所述沟道形成区的导电类型与所述第二掺杂区的导电类型相反;其中,所述第一掺杂区的至少一部分设置在所述非晶半导体层中,而所述第二掺杂区的至少一部分设置在所述结晶半导体层中。
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