[发明专利]双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法有效
| 申请号： | 201711287015.0 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN107830937B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 林冬冬;李金鹏;胡明勇;毛羽西;朱庆生;毕勇;郑锋华;李季 | 申请（专利权）人： | 中科院南京天文仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 朱少华 |
| 地址： | 210042 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法，包括分束光栅、第一偏振片、点衍射板PDP、第二偏振片、平面镜、合束光栅、空间移相组件、CCD图像传感器；双光栅偏振点衍射装置采用分束光栅进行分光，以实现后续光路的相干光调制；采用合束光栅形成共光路结构，以实现检测装置的光干涉，相干光经准直物镜入射到空间移相组件中，最后在CCD图像传感器上采集到移相量相差90°的空间移相干涉图，采用移相算法解算待测波前。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 偏振 衍射 干涉 装置 以及 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双光栅偏振点衍射干涉装置，其特征在于：所述装置沿光线入射的方向，依次为分束光栅(1)、第一偏振片(2)、点衍射板PDP(3)、第二偏振片(4)、平面反射镜(5)、合束光栅(6)；所述分束光栅(1)进行分光，第一偏振片(2)、点衍射板PDP(3)、第二偏振片(4)组成偏振式点衍射板，第一偏振片(2)和第二偏振片(4)的透振方向互相垂直，所述点衍射板PDP(3)上设有衍射针孔和透射孔；衍射针孔和透射孔之间设有横向偏移距离；第一偏振片(2)靠近点衍射板PDP(3)的衍射针孔附近，第二偏振片(4)靠近点衍射板PDP(3)的透射孔附近，直射光从点衍射板PDP(3)透射孔透射而出，携带待测波前波差信息形成测试光，衍射光从点衍射板PDP(3)衍射针孔衍射而出，经针孔滤波形成接近理想球面波的参考光；参考光经过平面反射镜(5)反射到合束光栅(6)，参考光与测试光在合束光栅(6)处重叠，形成共光路结构。
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