[发明专利]一种极高真空校准装置及方法有效
| 申请号： | 201711291108.0 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108151961B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 李得天;成永军;张虎忠;习振华;孙健;袁征难;李艳武;刘珈彤;张瑞年 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 11120 北京理工大学专利中心 | 代理人： | 李爱英;郭德忠 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种极高真空校准装置及方法，能够实现对极高真空计和质谱计的校准，校准精度高、校准下限低，并且操作简单。本发明的极高真空校准装置，基于流导值分别与极高真空范围适配和超高真空范围适配的两个进样小孔，向校准室内直接引入精确的定量微小气体流量，无需经过气体分流，提高了校准精度。本发明的极高真空校准方法，基于流导值分别与极高真空范围适配和超高真空范围适配的两个进样小孔，向校准室内直接引入微小气体流量，再由趋于动态稳定后的标准流量计算出标准压力，校准精度高；采用常温和低温相结合的抽气方式，延伸校准室极限真空度到极高真空范围，方法简单易行。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 极高真空 适配 校准装置 超高真空 气体流量 进样 流导 小孔 极限真空度 室内 标准流量 标准压力 抽气方式 动态稳定 气体分流 低温相 校准室 真空计 质谱计 引入 对极 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种极高真空校准装置，对被校仪器(16)进行校准，其特征在于，所述装置包括抽气室(8)、校准室(9)、稳压室(10)、限流小孔(11)、第一进样小孔(12)、第二进样小孔(13)、温度传感器、多个气瓶、抽气组件、阀门以及真空计；每个气瓶中装有一种校准气体，且各气瓶中的校准气体不同；/n其中，所述被校仪器(16)与所述校准室(9)连接；/n所述抽气室(8)与所述校准室(9)通过限流小孔(11)连接；/n所述校准室(9)通过两路并连的管路与所述稳压室(10)连接；所述并联管路中的其中一路设有第一进样小孔(12)，另一路设有第二进样小孔(13)，第一进样小孔(12)流导值与极高真空范围适配，第二进样小孔(13)流导值与超高真空范围适配；/n所述气瓶并联后通过阀门Ⅶ(37)与所述稳压室(10)、第一进样小孔(12)以及第二进样小孔(13)的并联管路连接；/n所述校准室(9)以及所述稳压室(10)中均设有温度传感器；/n所述抽气组件用于对抽气室(8)、校准室(9)、稳压室(10)和各连接管路进行抽气；/n抽气室(8)和校准室(9)的抽气组件包括低温吸附泵(4)以及低温冷阱(36)；/n所述低温冷阱(36)用于减小低温吸附泵(4)与低温吸附泵(4)腔室外界的热交换；/n所述真空计用于对校准室(9)以及稳压室(10)内的压力进行监测。/n
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