[发明专利]一种制备氧化物陶瓷靶材坯体的方法在审
| 申请号： | 201711292917.3 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108046767A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 曾学云;舒永春;刘洋;孙本双 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/626;C04B35/622;B28B1/26;B28B7/18 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 450001 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备氧化物陶瓷靶材坯体的方法，利用真空球磨过程得到氧化物浆料，然后注浆成型，并进行烧结过程，在烧结过程之前还可以进行氧化物靶材坯体的干燥过程；真空球磨过程的真空度在10Pa以下，球磨时间在48‑72小时之间，利用该方法制备的氧化物陶瓷靶材坯体尺寸大，工艺简单，可以制得圆筒形、平板形等不同形状的高密度氧化物靶材坯体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 氧化物 陶瓷 靶材坯体 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备氧化物陶瓷靶材坯体的方法，其特征在于，该方法利用真空球磨过程得到氧化物浆料，所述氧化物浆料浇注成型得到氧化物陶瓷靶材坯体。
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