[发明专利]一种电光调制器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711294260.4 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108121091B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 张宇光;胡晓;肖希 | 申请（专利权）人： | 武汉邮电科学研究院 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035;G02F1/065 |
| 代理公司： | 42225 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 蔡忠祥<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明适用于电光调制器，提供了一种电光调制器及其制备方法，所述电光调制器包括：低折射率衬底层，形成于所述衬底层之上的第一石墨烯电极、第二石墨烯电极，形成于所述第一石墨烯电极之上的第一金属电极，形成于所述第二石墨烯电极之上的第二金属电极，形成于所述衬底层之上的高电光系数材料光波导，覆盖在所述高电光系数材料光波导之上的低折射率覆盖层，所述第一石墨烯电极和第二石墨烯电极分别贴合于所述高电光系数材料光波导的两侧。实施本发明实施例，不仅可以使电光调制器小型化，而且可以提高电光调制效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 石墨烯 电光调制器 电光系数 衬底层 光波导 低折射率 金属电极 制备 电光调制 覆盖层 贴合 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种电光调制器，其特征在于，所述电光调制器包括：/n低折射率衬底层，形成于所述衬底层之上的第一石墨烯电极、第二石墨烯电极，形成于所述第一石墨烯电极之上的第一金属电极，形成于所述第二石墨烯电极之上的第二金属电极，形成于所述衬底层之上的高电光系数材料光波导，覆盖在所述高电光系数材料光波导之上的低折射率覆盖层，所述第一石墨烯电极和第二石墨烯电极分别贴合于所述高电光系数材料光波导的两侧；/n所述第一石墨烯电极和第二石墨烯电极在横向上贴合于所述高电光系数材料光波导的两侧，或者在纵向上贴合于所述高电光系数材料光波导的两侧。/n
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