[发明专利]一种消边缘效应的非球面镜加工方法

摘要

本发明公开了一种消边缘效应的非球面镜加工方法，先制备一口径大于非球面口径的圆柱形镜胚，先在圆柱形镜胚的第一端面上加工出第一圆槽，然后在第一端面上铣磨成形非球面，成形的非球面上仍保留有一定深度的第一圆槽，在非球面研磨抛光时将边缘效应产生的范围内控制在非球面上第一圆槽之外的环形区域，然后将非球面口径之外的环形区域切除，剩下部分即为没有边缘效应的反射镜，该技术方案有效的解决了边缘效应问题与应力变形问题，且不易在非球面边缘产生崩边和崩口。

主权项

1.一种消边缘效应的非球面镜加工方法，包括如下步骤：步骤一，制备圆柱形镜胚步骤：根据非球面的结构参数加工可以包络非球面镜的圆柱形镜胚；其中所述的圆柱形镜胚由第一端面、第二端面、柱面侧壁构成，第一端面用于加工非球面结构，圆柱形镜胚直径大于非球面镜的口径，第一端面与第二端面平行且均与圆柱形镜胚的柱面侧壁垂直；步骤二，加工第一圆槽步骤：将加工好的第一端面向上固定在立式机床的转台上；其中立式机床主轴轴线与立式机床转台轴线重合，立式机床转台轴线与圆柱形镜胚的轴线重合，圆柱形镜胚的第一端面与转台表面平行；将金刚石砂轮套筒安装在立式机床主轴上，金刚石砂轮套筒内径不小于非球面镜的口径，使用金刚石砂轮套筒加工出第一圆槽，加工第一圆槽时从第一端面开始沿着圆柱形镜胚轴线方向向下至非球面结构位置后继续向下加工一定深度，从第一端面起算第一圆槽总深度小于圆柱形镜胚厚度；步骤三，铣磨非球面结构步骤：将金刚石铣磨砂轮安装在立式机床主轴上，在圆柱形镜胚的第一端面上铣磨出非球面结构；步骤四，研磨抛光步骤：将非球面结构研磨抛光成非球面镜；步骤五，切边取镜步骤：具体为：将步骤四中获得非球面镜固定在立式机床的转台上，其中立式机床主轴轴线与立式机床转台轴线重合，立式机床转台轴线与圆柱形镜胚的轴线重合，将所述金刚石砂轮套筒安装在立式机床主轴上，用所述金刚石砂轮套筒套取出非球面镜。