[发明专利]一种重力加速度传感器在审
| 申请号： | 201711296995.0 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108152862A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 刘骅锋;涂良成;徐小超;饶康;刘金全 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01V7/00 | 分类号： | G01V7/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 廖盈春;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种重力加速度传感器，包括：弹簧质量块结构，位移传感组件，上盖板结构以及下盖板结构；弹簧质量块结构包括：外框架、检验质量以及弹簧结构，检验质量在弹簧结构的约束下受外界力的作用而运动；位移传感组件包括：驱动周期阵列极板和拾取周期阵列极板，驱动周期阵列极板和拾取周期阵列极板的位置交错相对，形成电容器；当平行于驱动周期阵列极板或拾取周期阵列极板方向的重力加速度分量发生变化时，检验质量运动使得电容器的相对极板面积发生变化，通过检测电容的变化量确定该方向重力加速度分量的变化量，当重力加速度传感器在Z轴方向工作时，检验质量在重力作用下下垂位移为一个或多个阵列周期。本发明可以实现三分量重力测量。 | ||
| 搜索关键词： | 极板 重力加速度传感器 驱动周期 周期阵列 拾取 重力加速度分量 电容器 位移传感组件 质量块结构 弹簧结构 检验 弹簧 变化量确定 上盖板结构 多个阵列 极板方向 检测电容 位置交错 质量运动 重力测量 重力作用 变化量 三分量 外界力 外框架 下盖板 下垂 平行 | ||
【主权项】：
一种重力加速度传感器，其特征在于，包括：弹簧质量块结构，位移传感组件，上盖板结构以及下盖板结构；所述弹簧质量块结构包括：外框架、检验质量以及弹簧结构，检验质量通过弹簧结构与外框架相连，所述检验质量在弹簧结构的约束下受外界力的作用而运动；所述弹簧质量块四周的外框架与上盖板结构和下盖板结构固连封装，用于实现位移传感组件的安装、所述位移传感组件与外界的电气连接，以及对弹簧质量块结构的限位保护；所述位移传感组件包括：驱动周期阵列极板和拾取周期阵列极板，所述驱动周期阵列极板和拾取周期阵列极板的位置交错相对，形成电容器，所述驱动周期阵列极板和拾取周期阵列极板中的一个位于检验质量表面，另一个位于上盖板结构或下盖板结构表面；当平行于驱动周期阵列极板或拾取周期阵列极板方向的重力加速度分量发生变化时，所述检验质量运动使得所述电容器的相对极板面积发生变化，通过检测所述电容器电容的变化量确定该方向重力加速度分量的变化量，当所述重力加速度传感器在Z轴方向工作时，所述检验质量在重力作用下下垂位移为一个或多个阵列周期，所述阵列周期为所述驱动周期阵列极板和拾取周期阵列极板周期性交错排布的最小单元；所述驱动周期阵列极板比拾取周期阵列极板偏左和偏右各多出至少一个周期，或所述拾取周期阵列极板比驱动周期阵列极板偏左和偏右各多出至少一个周期。
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