[发明专利]一种光束姿态调整系统在审
| 申请号： | 201711302626.8 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107907929A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 巴音贺希格;王玮;宋莹;姜珊;吕强;李文昊;刘兆武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B7/182;G02B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光束姿态调整系统，光束姿态调整系统包括光束宏动调整模块及光束微动调整模块，激光束首先进入所述光束微动调整模块进行微动姿态稳定，由所述光束微动调整模块调整后的出射光束再通过一分束光栅，所述分束光栅分束后的光束再进入所述光束宏动调整模块进行宏动姿态调整，以此有效的对扫描干涉场曝光光束姿态进行指向控制和抖动抑制，达到保证曝光激光束指向的精度与稳定性的目的，对扫描干涉曝光获取优质的全息光栅槽型提供有力保障，对扫描干涉场曝光技术与工艺水平的提高具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 姿态 调整 系统 | ||
【主权项】：
一种光束姿态调整系统，用于扫描曝光光路，其特征在于，包括：光束宏动调整模块，所述光束宏动调整模块包括第一微动电机、第二微动电机、第三微动电机、第四微动电机、基准光栅、半透半反镜、第一平面反射镜、第一分束棱镜、宏动‑位置解耦透镜、位置‑CMOS、第二平面反射镜、宏动‑角度解耦透镜以及角度‑CMOS；光束微动调整模块，所述光束微动调整模块设于所述光束宏动调整模块上方，所述光束微动调整模块包括第一压电偏摆镜、第二压电偏摆镜、偏振分束棱镜、第二分束棱镜、第三平面反射镜、微动‑角度解耦透镜、角度‑PSD、微动‑位置解耦透镜、位置‑PSD以及第四平面反射镜；一光源激光器发出的激光束，首先进入所述光束微动调整模块进行微动姿态稳定，由所述光束微动调整模块调整后的出射光束再通过一分束光栅，所述分束光栅分束后的光束再进入所述光束宏动调整模块进行宏动姿态调整。
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