[发明专利]一种基于空气放电的化学电离-真空紫外单光子电离复合电离源装置

摘要

本发明涉及一种基于空气放电的化学电离‑真空紫外单光子电离复合电离源装置，包括真空紫外灯、放电电极和电离室腔体其他电极。紧靠真空紫外灯的下方设有一对放电电极，真空紫外灯上施加一定直流电压，在真空紫外灯与放电电极之间引发产生放电。电离室腔体内，于放电电极下方平行、间隔设置有若干离子引出电极和差分孔电极，沿电极的轴线方向开有通孔，电极上依次施加有直流电压，电极间通过阻值相同的精密电阻相连。在放电电极与相邻离子引出电极之间的电离室腔体壁上设有进样毛细管，另设有真空泵抽气口和真空规接口。在真空紫外灯上施加一定直流电压，将真空紫外灯点亮，该装置体积小巧，功耗低，结构简单，便于集成。

主权项

1.一种基于空气放电的化学电离‑真空紫外单光子电离复合电离源装置，其特征在于：包括真空紫外灯(1)、放电电极(4)、电离室腔体(9)、2个以上的离子引出电极(6)和差分孔电极(8)，于电离室腔体(9)壁上设有真空泵(11)抽气口和真空规(12)接口；真空紫外灯(1)置于电离室腔体(9)外、电离室腔体(9)的上方，于放电电极(4)的通孔上方处的电离室腔体(9)壁上开设有紫外光入口，相对应的真空紫外灯(1)置于紫外光入口处；于电离室腔体(9)内，真空紫外灯(1)出射光进入通孔的下方与离子引出电极(6)的上方设有圆形平板状放电电极(4)，于放电电极(4)的轴向开有圆形通孔，于通孔四周边缘的放电电极上表面设有圆环形凸台，凸台与电离室腔体(9)内壁面间隔设置；离子引出电极(6)为中部带有圆形通孔的圆形平板状结构，置于电离室腔体(9)内部，二个以上的离子引出电极(6)从上至下依次平行、同轴、间隔设置；于电离室腔体(9)内，离子引出电极(6)的下方设有平板状差分孔电极(8)，差分孔电极(8)的孔与离子引出电极(6)和放电电极(4)的通孔同轴；于电离室腔体(9)底部壁面上设有通孔，平板状差分孔电极(8)置于通孔上方，并与通孔圆周边缘密闭连接，差分孔电极(8)的孔位于通孔所围绕的区域；真空紫外灯(1)的紫外光出口、电离室腔体(9)的紫外光入口与放电电极(4)和离子引出电极(6)的通孔同轴，真空紫外灯(1)产生的紫外光经紫外光入口入射进入电离室腔体(9)内；电离室腔体(9)侧壁上设有进样毛细管(5)，进样毛细管(5)的气体出口位于放电电极(4)与其下方相邻的离子引出电极(6)之间；进样毛细管(5)的气体出口端面向经紫外光入口入射进入电离室腔体(9)内的紫外光束。