[发明专利]一种激光诱导击穿光谱检测系统有效
申请号: | 201711307192.0 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN108195823B | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 赵天卓;樊仲维;连富强;刘洋;林蔚然;貊泽强;王璞;肖红;聂树真;李欣;钟奇秀 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种激光诱导击穿光谱检测系统,包括激光诱导光源、分光单元、激光参数监测单元、光谱参数监测单元、数据筛选单元和分析单元;其中,数据筛选单元分别与分光单元、激光参数监测单元、光谱参数监测单元和分析单元连接;激光诱导光源输出激光以激发待检测材料产生等离子体光;分光单元对等离子体光进行分光并输出光谱数据;激光参数监测单元监测激光的激光参数;光谱参数监测单元监测等离子体光和/或光谱数据的光谱参数;数据筛选单元根据激光参数和光谱参数对光谱数据进行筛选和/或修正并输出有效光谱数据;分析单元根据有效光谱数据获取待检测材料的成分。本发明提供的系统,降低了干扰,提高了光谱数据稳定性和成分分析精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 诱导 击穿 光谱 检测 系统 | ||
【主权项】:
1.一种激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,包括激光诱导光源、分光单元、激光参数监测单元、光谱参数监测单元、数据筛选单元和分析单元;其中,所述数据筛选单元分别与所述分光单元、激光参数监测单元、光谱参数监测单元和分析单元连接;所述激光诱导光源用于向待检测材料输出激光以激发所述待检测材料产生等离子体光;所述分光单元用于对所述等离子体光进行分光,并输出光谱数据;所述激光参数监测单元用于监测所述激光诱导光源输出激光的激光参数;所述光谱参数监测单元用于监测所述分光单元输入侧等离子体光和/或输出侧光谱数据的光谱参数;所述数据筛选单元根据所述激光参数和光谱参数对所述光谱数据进行筛选和/或修正,并输出有效光谱数据;所述分析单元根据所述有效光谱数据获取所述待检测材料的成分。
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