[发明专利]基于音叉驱动效应的三轴微陀螺仪

摘要

本发明公开了一种基于音叉驱动效应的三轴微陀螺仪，包括上层陀螺仪结构和下层玻璃衬底，上层陀螺仪结构由左机械结构、右机械结构、中间机械结构、上横梁、下横梁、短梁以及锚点组成，中间机械结构中设计了基于音叉驱动的转向机构，通过对左、右机械结构的X轴单一方向驱动，实现其X轴的简谐驱动和中间机械结构敏感质量Y轴的简谐驱动，保证了不同轴之间驱动频率的一致性。当外界有角速度输入时，敏感质量受到科里奥利力而产生位移。本发明采用双敏感质量设计和变间距式电容差分检测，能够抑制温度，结构应力，加速度等共模干扰；本发明结构对称布置，稳定性好，抗干扰能力强。

主权项

1.一种基于音叉驱动效应的三轴微陀螺仪，其特征在于：包括上层陀螺仪结构和下层玻璃衬底；所述陀螺仪结构包括左机械结构、右机械结构、中间机械结构、上横梁、下横梁、短梁和锚点；所述左机械结构、中间机械结构和右机械结构依次相连接，且关于陀螺仪结构中轴线对称；所述上横梁分别与左、右机械结构的上端相连接，下横梁分别与左、右机械结构的下端相连接；所述短梁分别位于上、下横梁的左右两端、上横梁中部上端以及下横梁中部下端，并与所述锚点相连接；所述下层玻璃衬底上设有金属电容极板、信号引线与金属电极；所述上层陀螺仪结构的锚点键合在下层玻璃衬底上。