[发明专利]一种含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂有效
| 申请号： | 201711308809.0 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN108255014B | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 杜永杰;杨卫国;高代兵 | 申请（专利权）人： | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/033 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黄琳娟 |
| 地址： | 519050 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种含有改性聚氨酯和光固化单体的光膜光阻剂，包括以下重量份数的组分：含有羧基的高分子粘合剂40‑70份，自由基光引发剂1‑10份，光聚合单体20‑50份，热聚合抑制剂0.005‑0.02份，改性聚氨酯1‑21份，紫外光吸收剂0.001‑0.1份和特殊官能团光固化单体1‑10份。本发明将聚氨酯添加于干膜光阻剂中，提高干膜光阻剂的强度和韧性；采用邻苯二甲酸改性特殊官能团光固化单体，提高了光阻剂对铜面的附着力，减少显影时干膜光阻剂中小分子的析出，可以不使用增塑剂；本发明的干膜光阻剂柔性好、具有优异的解析度和附着力。 | ||
| 搜索关键词： | 干膜光阻 光固化单体 改性聚氨酯 附着力 光阻剂 自由基光引发剂 高分子粘合剂 热聚合抑制剂 紫外光吸收剂 光聚合单体 邻苯二甲酸 析出 重量份数 解析度 聚氨酯 增塑剂 改性 光膜 显影 羧基 | ||
【主权项】：
1.一种含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂，其特征在于，包括以下重量份数的组分：![]()
所述特殊官能团光固化单体属于邻苯二甲酸酯类物质，其中一个支链含有乙烯双键，可参与光固化反应；另一端不含有可反应性基团但含有氯元素或者氮元素。
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