[发明专利]一种适用于环形工件的沉积室和化学气相沉积系统

摘要

本申请公开一种适用于环形工件的沉积室，包括：保温室主体；设于保温室主体内的内保温层；保温室主体与内保温层之间形成沉积空间；用于向沉积空间内供入工艺气体的沉积喷气部；设于保温室主体与内保温层之间的加热结构；沉积空间内具有用于放置环形工件的沉积位。本申请提供的适用于环形工件的沉积室，与现有技术相比，其能够提高工艺气体的利用率，降低沉积设备能耗，本申请还提供一种化学气相沉积系统，同样具有上述有益效果。

主权项

1.一种适用于环形工件的沉积室，其特征在于，包括：保温室主体；设于所述保温室主体内的内保温层；所述保温室主体与所述内保温层之间形成沉积空间；用于向所述沉积空间供入工艺气体的沉积喷气部；设于所述保温室主体与所述内保温层之间的加热结构；所述沉积空间内具有用于放置环形工件的沉积位。