[发明专利]一种具有分布式弹性结构的微镜有效
| 申请号： | 201711310172.9 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107942509B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 虞传庆;王鹏;陈文礼;王宏臣;孙丰沛;董珊 | 申请（专利权）人： | 无锡英菲感知技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有分布式弹性结构的微镜，包括：镜面，镜面支架，所述镜面支架环绕所述镜面设置，且所述镜面和镜面支架之间通过第一扭转轴相连；所述镜面和镜面支架关于所述扭转轴确定的旋转轴对称，并能够在外部驱动下绕所述旋转轴产生偏转；所述镜面支架外侧还环绕设置有外框架，所述镜面支架两侧设置有静梳齿结构；所述外框架内侧设置有与所述静梳齿对应的动梳齿结构，所述静梳齿结构和动梳齿结构构成梳齿对；所述镜面支架通过分布式弹性结构与所述第一外框架连接。基于本发明提供的结构，能够更加有效地抑制干扰模式，同时实现高频、大角度和低动态形变的机械扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 分布式 弹性 结构 | ||
【主权项】：
一种具有分布式弹性结构的微镜，其特征在于，所述微镜包括：镜面(11)，镜面支架(3)，所述镜面支架(3)环绕所述镜面(11)设置，且所述镜面(11)和镜面支架(3)之间通过第一扭转轴(9)相连；所述镜面(11)和镜面支架(3)关于所述扭转轴确定的旋转轴(12)对称，并能够在外部驱动下绕所述旋转轴(12)产生偏转；所述镜面支架(3)外侧还环绕设置有外框架，所述镜面支架(3)两侧设置有静梳齿(1)结构；所述外框架内侧设置有与所述静梳齿(1)对应的动梳齿(2)结构，所述静梳齿(1)结构和动梳齿(2)结构构成梳齿对；所述镜面支架(3)通过分布式弹性结构与所述第一外框架(13)连接。
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