[发明专利]一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现切割方法有效

专利信息
申请号: 201711310574.9 申请日: 2017-12-11
公开(公告)号: CN107932762B 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 吴建达;郭明;方继伟;孙强 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B24B27/06;B24B57/02
代理公司: 12105 天津中环专利商标代理有限公司 代理人: 李美英<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 300220*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现方法,晶棒固定在多线切割机数根钢线的工作台上;启动多线切割机,砂浆搅拌电机搅拌砂浆储存罐砂浆,砂浆泵分别通过砂浆管Ⅰ、砂浆管Ⅱ、砂浆管Ⅲ向上喷管和两个多孔喷管供给砂浆,两个多孔喷管分别将砂浆喷在两个挡板上,砂浆从挡板下端的斜板流下粘附在数根钢线上,同时,工作滚轮往复转动,带动数根钢线对晶棒进行往复式切割。两套砂浆喷布装置上的多孔喷管及挡板,使喷出的砂浆均匀喷布在切割钢线上。本发明降低了破裂率,降低至2%以内,减小了晶片表面切割痕,提高了良品率,薄片产品良品率由92%提高至98%,提高了产品质量。
搜索关键词: 一种 用于 切割机 砂浆 装置 实现 方法
【主权项】:
1.一种用于多线切割机的砂浆喷布装置,包括砂浆喷布装置(1)、流量控制阀(2)、多线切割机、PLC控制器(3-11),所述多线切割机具有上喷管(3-8),所述多线切割机的上喷管(3-8)连接砂浆管Ⅰ(3-5),在PLC控制器(3-11)与砂浆管Ⅰ(3-5)之间连接流量控制阀(2),其特征在于:所述砂浆喷布装置(1)包括连接板(1-1)、挡板(1-2)、连接件(1-3)、多孔喷管(1-4)、弯板(1-5);/n所述连接板(1-1)为矩形板,在连接板(1-1)面上分别设有两个挡板连接孔(1-1-1)、两个设备固定长圆状孔(1-1-2)、四个连接件孔(1-1-3);/n所述挡板(1-2)为条状板,挡板(1-2)上端为直板,下端为斜板(1-2-1),在直板上设有连接孔(1-2-2);/n所述连接件(1-3)为L状板,在连接件(1-3)上端的直板上设有两个长圆状孔(1-3-1),在连接件(1-3)下端的凸起块上设有喷管孔(1-3-2),在凸起块上设有螺孔(1-3-3);/n所述多孔喷管(1-4)的一端为接口(1-4-1),另一端为管堵(1-4-2),在多孔喷管(1-4)的管体上设有两排喷孔(1-4-3),每排数个喷孔(1-4-3)间隔设置;/n在连接板(1-1)下端固定挡板(1-2),在连接板(1-1)两侧端分别固定一个连接件(1-3),在两个连接件(1-3)的喷管孔(1-3-2)中固定多孔喷管(1-4),多孔喷管(1-4)的两排喷孔(1-4-3)与挡板(1-2)相对应;/n两套砂浆喷布装置(1)分别通过弯板(1-5)固定在多线切割机的机架(3-1)上,两套砂浆喷布装置(1)上的多孔喷管(1-4)相对应,两个多孔喷管(1-4)接口(1-4-1)分别通过快插头(1-4-4)与多线切割机的砂浆管Ⅱ(3-6)、砂浆管Ⅲ(3-7)连接。/n
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