[发明专利]一种自适应跟踪偏置电压的方法及麦克风装置在审

专利信息
申请号: 201711310676.0 申请日: 2017-12-11
公开(公告)号: CN108235203A 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 叶菁华 申请(专利权)人: 钰太芯微电子科技(上海)有限公司;钰太科技股份有限公司
主分类号: H04R19/04 分类号: H04R19/04
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 俞涤炯
地址: 200120 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种自适应跟踪偏置电压的方法及麦克风装置,其中包括一声学感测器,声学感测器包括一背极板及形成于背极板上的声学振膜,其中,自适应跟踪偏置电压方法包括下述步骤:步骤S1、给声学振膜加一个不断升高的偏置电压,当偏置电压达到一第一设定电压时,硅基微机电麦克风的灵敏度下降,记录第一设定电压为第一电压;步骤S2、对声学振膜下电复位;步骤S3、重新设定一偏置电压,偏置电压的大小为第一电压的60%至80%。本发明的技术方案有益效果在于:公开了一种自适应跟踪偏置电压的方法及麦克风装置,可以精确控制器件的结构尺寸,实现操作简单,能够自适应动态地改变偏置电压,提升灵敏度,降低信噪比,提高性能的一致性。
搜索关键词: 偏置电压 自适应跟踪 麦克风装置 声学振膜 背极板 感测器 灵敏度 声学 微机电麦克风 控制器件 重新设定 信噪比 自适应 复位 硅基 下电 升高 记录
【主权项】:
1.一种自适应跟踪偏置电压方法,应用于硅基微机电麦克风,所述硅基微机电麦克风包括一声学感测器,所述声学感测器包括一背极板及形成于所述背极板上的声学振膜,其特征在于,包括下述步骤:步骤S1、给所述声学振膜加一个不断升高的偏置电压,当所述偏置电压达到一第一设定电压时,所述硅基微机电麦克风的灵敏度下降,记录所述第一设定电压为第一电压;步骤S2、对所述声学振膜下电复位;步骤S3、重新设定一偏置电压,所述偏置电压的大小为所述第一电压的60%至80%。
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