[发明专利]基于柔性铰链结构的超分辨光刻方法和装置在审
| 申请号： | 201711316112.8 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108037638A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;赵承伟;张斌;王长涛;高平;刘利芹;刘明刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于柔性铰链结构的超分辨光刻方法和装置，包括紫外曝光模块、检平模块、对准模块、柔性铰链光刻镜头、承片台模块和支撑架；紫外曝光模块、检平模块、对准模块和柔性铰链光刻镜头安装于上支撑板上，承片台模块安装于下支撑板上。本发明所提供的柔性铰链超分辨光刻装置中，承片台向上移动，使掩模和基片缓慢接触，接触过程中，在比较小的贴紧力作用在柔性铰链上，使掩模绕其通过几何中心的相互正交的两个轴旋转，完成贴平，避免产生横向位移。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 铰链 结构 分辨 光刻 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于柔性铰链结构的超分辨光刻装置，其特征在于：包括紫外曝光光源(1)、检平模块(2)、对准模块(3)、柔性铰链光刻镜头(4)、承片台模块(5)和支撑架(6)，支撑架(6)包含上支撑板(7)和下支撑板(8)，支撑架(5)安装于隔震平台上，紫外曝光光源(1)安装于上支撑板(7)上，检平模块(2)安装于上支撑板(7)上，对准模块(3)安装于上支撑板(7)上，柔性铰链光刻头安装在上支撑板(7)上，承片台模块(5)安装在下支撑板(8)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711316112.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多工位圆盘供料装置
- 下一篇：一种环保电缆填充材料
