[发明专利]一种应用于光刻装置的被动式调平锁紧机构

摘要

本发明公开了一种应用于光刻装置的被动式调平锁紧机构，该装置用于光刻机中实现对掩模版与基片之间的被动调平。该装置以承片台为基准，承片台推动掩模版向上移动，一定位移距离后掩模版上的光栅尺清零，然后掩模版在重力的作用下回到初始位置，通过光栅尺计数控制三点步进电机步数，通过齿轮啮合带动掩模版Z向上升，掩模版调平后，步进电机自锁，执行电动缸执行下压控制，完成对掩模版调平后的固定，本发明通过减少调平基准的方式，有效改善曝光后图形扭曲变形、分辨率低等现象，本发明采用了以基片上升推动掩模版完成调平锁紧的机构，故该装置需受承片台推动力后完成启动，故称之为被动式调平锁紧机构。

主权项

1.一种应用于光刻装置的被动式调平锁紧机构，其特征在于：包括装载板(1)、电机安装(2)、读数头底座(3)、读数头安装板(4)、光栅尺(5)、步进电机(6)、执行电缸(7)、光栅尺传动件(8)、平动件(9)、三点压缩弹簧支撑(10)、螺杆(11)、电机安装件(12)、直线轴承(13)、转矩齿轮(14)、推力深沟球轴承(15)、滚珠花键(16)、电机安装座(17)、滚珠花键(18)、阻挡球头(19)、掩模架(20)、万向转接(21)、锁紧压头(22)和球头位移器(23)，装载板(1)通过球头移位器(23)将读数头底座(3)固定，光栅尺(5)与读数头安装板(4)连接固定，光栅尺(5)通过光栅尺传动件(8)与移动部件掩模架(20)球头连接，光栅尺传动件(8)带动平动件(9)跟随运动，带动安装在平动件(9)上的光栅尺子产生运动，从而实现掩模架(20)的运动传递到光栅尺(5)，实时反映掩模架(20)的位移量，通过电机安装件(12)以及电机安装(2)将步进电机(6)固定在装载板(1)上，步进电机(6)头部齿轮与扭矩齿轮(11)啮合，螺杆上安装有直线轴承(13)，转矩齿轮通过定位销同轴固定在直线轴承(13)上，电机传递力矩带动螺杆(11)与直线轴承(13)同步转动、平移，螺杆(11)一端径向固定，一端与滚珠花键(18)螺纹连接，两者之间采用推力深沟球轴承(15)实现轴向缓冲，滚珠花键(18)下部与阻挡球头(19)螺纹连接，实现悬吊掩模架(20)，执行电缸(7)通过安装板固定在装载板(1)上，头部连接万向转接(21)，万向转接(21)与锁紧压头连接，在执行气缸(7)，能够实现将掩模架(20)顶紧，并保证执行电缸(7)不受径向力。