[发明专利]一种晶圆输送系统中晶圆对位状态的检测方法在审
| 申请号： | 201711318249.7 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108106563A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王玉龙;汤雪飞;叶建明;凌俭波;王斌 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根;徐颖 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆输送系统中晶圆对位状态的检测方法，利用两组红外收发器，在底座定位槽上方形成一个平行底座的检测面，一旦有晶圆盒放到探针台内，将红外线阻断，可判断确定晶圆盒已放入探针台内；用另一组红外收发器，在放置晶圆盒底座边上，形成的垂直底座边的红外检测线，晶圆盒放入底座固定后，整个晶圆盒侧面和红外线平行并贴近，一旦晶圆盒里的晶圆发生位移阻断红外线，即可检测晶圆因位移过多发生的倾斜和滑落现象。通过改造探针台放置晶圆盒区域，能有效检测晶圆盒是否正确放置，并能实施监控晶圆在测试过程中或加载释放过程中有无位移现象，有效的发出提醒，保护了晶圆，维护了生产安全。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 晶圆 探针台 红外线 底座 红外收发器 对位状态 输送系统 放入 种晶 检测 测试过程 垂直底座 红外检测 平行底座 生产安全 实施监控 有效检测 整个晶圆 定位槽 盒侧面 检测面 滑落 加载 两组 平行 释放 改造 维护 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆输送系统中晶圆对位状态的检测方法，探针台放置晶圆盒的区域为一个长方体区域，由互相垂直的底板和背板及盖子组成一个密闭的独立空间，打开盖子可将晶圆盒固定放置在底板上的底座上，底座上有固定的定位槽和3个定位孔，用来固定不同尺寸的晶圆盒，其特征在于，在背板上安装两个红外发射器，在对面盖子内侧同高度装两个对应的红外接收器，一发一收，两条红外线在底座定位槽上方形成一个平行底座的检测面，一旦有晶圆盒放到探针台内，将红外线阻断，可判断确定晶圆盒已放入探针台内；靠近的定位槽的底座边中心装有一个红外发射器，对应的在盖子上方装有红外接收器，一发一收，形成的红外线垂直底座边，晶圆盒放入底座固定后，整个晶圆盒侧面和红外线平行并贴近，一旦晶圆盒里的晶圆发生位移阻断红外线，即可检测晶圆因位移过多发生的倾斜和滑落现象。
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