[发明专利]一种MEMS麦克风测试系统

摘要

本发明涉及一种MEMS麦克风测试系统。是将芯片直接连接在电路板上，通过锡焊将PAD连接到电路中，可重复性差。本发明包括控制模块、电路模块、芯片模块。控制模块与电路模块连接，控制模块控制电路模块中电荷泵的放大级数，得到不同的输出电压；电路模块与芯片模块互连，为芯片提供稳定的偏置电压；芯片模块的输出信号再返回到电路模块。电路模块包括时钟产生电路、电荷泵电路、输入增益放大电路、输出增益放大电路、三个电容和两个电阻。芯片模块是在电路印刷版的中部开设芯片安装孔，正面设置有多个小尺寸的圆形焊盘，背面设置有多个大尺寸的矩形焊盘，通过电路印刷版盲孔技术连接。本发明具有可重复性强、成本低、方便检测的特点。

主权项

一种MEMS麦克风测试系统，包括控制模块(1)、电路模块(2)、芯片模块(3)，其特征在于：所述的控制模块(1)与电路模块(2)连接，控制模块(1)控制电路模块(2)中电荷泵的放大级数，得到不同的输出电压；电路模块(2)与芯片模块(3)互连，电路模块(2)中的电荷泵电路为芯片提供稳定的偏置电压；芯片模块(3)的输出信号再返回到电路模块(2)；所述的电路模块(2)包括时钟产生电路(2‑1)、电荷泵电路(2‑2)、输入增益放大电路(2‑3)、输出增益放大电路(2‑4)、三个电容和两个电阻；时钟产生电路(2‑1)的输出端与电荷泵电路(2‑2)的时钟输入端连接，电荷泵电路(2‑2)的电压输出端与第一电阻R1的一端连接，第一电阻R1的另一端通过第一电容C1接地，并与第二电容C2的一端相接，同时接芯片模块3的电压信号输入端；第一电阻R1与第一电容C1组成低通滤波器，用来滤去右端电路的高频噪音；输入增益放大电路(2‑3)的信号输入端通过第二电阻R2接地，并通过第三电容C3接地，同时接芯片模块(3)的电压信号输出端；第二电容C2的另一端接输入增益放大电路(2‑3)的信号输出端和输出增益放大电路(2‑4)的信号输入端，输出增益放大电路(2‑4)的信号输出端作为电压输出Vout；所述的芯片模块(3)包括电路印刷版(3‑1)，电路印刷版(3‑1)的中部开有与麦克风芯片(4)形状匹配的芯片安装孔(3‑2)，麦克风芯片(4)置于芯片安装孔(3‑2)内；电路印刷版(3‑1)的正面设置有3～6个圆形焊盘(3‑3)，背面对应圆形焊盘(3‑3)位置设置有3～6个矩形焊盘(3‑4)，对应的圆形焊盘(3‑3)与矩形焊盘(3‑4)通过电路印刷版盲孔技术连接；麦克风芯片(4)的电压信号输入端和电压信号输出端分别与不同的圆形焊盘(3‑3)连通，对应的矩形焊盘(3‑4)分别与第一电阻R1的一端、输入增益放大电路(2‑3)的信号输入端连接；所述的麦克风芯片(4)采用微机电系统麦克风芯片。