[发明专利]电极单端悬浮的电容压力传感器

摘要

一种电极单端悬浮电容压力传感器，解决了动、定电极的材料膨胀系数不同引起的测量误差的问题。其技术要点是：动电极采用恒弹性金属制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极；定电极绝缘体采用蓝宝石单晶制作的蓝宝石绝缘体，下夹持悬浮座、上夹持焊环、双面镀贵金属层的薄膜动电极和动电极刃口焊口相互结合构成动电极单端悬浮结构体；管式电极、蓝宝石绝缘体、钎焊层、连体屏蔽环和定电极悬浮外壳相互固定构成定电极单端悬浮结构体，动、定电极单端悬浮结构体通过刃口焊接在一起。其结构简单，设计合理，使温度漂移大幅减小，显著提高测量精度，与同样量程及用途的同类产品相比，完全避免测量介质温度变化及机械冲击对动、定电极的膨胀系数不匹配的影响。

主权项

一种电极单端悬浮的电容压力传感器，包括外壳，支座，组装在二者之间的定电极绝缘体和动电极以及管式电极，其特征在于：所述动电极采用恒弹性金属制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极；定电极绝缘体采用蓝宝石单晶制作的蓝宝石绝缘体，并利用钎焊层将封接有管式电极的蓝宝石绝缘体的一端与作为外壳的底部设置有连体屏蔽环的定电极悬浮外壳固定在一起，蓝宝石绝缘体的设置有抛物凹面的一端不受任何约束呈自由状态，构成带有刃口薄壁端的定电极单端悬浮结构体；作为支座的带引压口的下夹持悬浮座上表面设置有与蓝宝石绝缘体底部相对称结构的抛物凹面和依托动电极的环形平面，上夹持焊环底部设置有与蓝宝石绝缘体抛物凹面的结构相吻合的抛物凹面和与引压口的下夹持悬浮座上表面相对称结构的依托动电极的环形平面，上夹持焊环顶部及外周壁不受任何约束呈自由状态，双面镀贵金属层的薄膜动电极压接封装在带引压口的下夹持悬浮座的环形平面与上夹持焊环的环形平面之间，通过动电极刃口焊口焊接在一起，构成带有刃口薄壁端的动电极单端悬浮结构体；定电极单端悬浮结构体的带有刃口薄壁端与动电极单端悬浮结构体的带有刃口薄壁端，利用悬浮结构体刃口焊口焊接在一起，同时使上夹持焊环顶部及外周壁与定电极悬浮外壳相对应的内壁之间保持间隙，上夹持焊环内周壁与蓝宝石绝缘体相对应的外周壁之间保持间隙。