[发明专利]超结金属氧化物场效应晶体管有效
| 申请号： | 201711328216.0 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108091684B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 车智路数据管理有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/78 |
| 代理公司： | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525 | 代理人： | 李明香 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区新丰镇*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超结金属氧化物场效应晶体管。所述晶体管划分为有源区域、位于有源区域外围的主结区域、位于主结区域外围的终端区域，晶体管还包括N型衬底、位于N型衬底上的N型外延层、位于主结区域的N型外延层表面的P型主结、位于主结区域的N型外延层中的连接P型主结底部且朝向N型衬底延伸的P型高掺杂区、位于终端区域的N型外延层中连接P型主结且朝向N型衬底延伸的第一P型柱、连接第一P型柱远离P型高掺杂区一侧的沿平行N型衬底的水平方向延伸的第二P型柱、位于终端区域的N型外延层表面且连接P型高掺杂区远离有源区域一侧的表面P型区域、及位于表面P型区域上方且具有可动电荷的第一厚氧层。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 场效应 晶体管 | ||
【主权项】：
1.一种超结金属氧化物晶体管，其特征在于：所述晶体管划分为有源区域、位于有源区域外围的主结区域、位于所述主结区域外围的终端区域，所述晶体管还包括N型衬底、位于所述N型衬底上的N型外延层、位于所述主结区域的N型外延层表面的P型主结、位于所述主结区域的N型外延层中的连接所述P型主结底部且朝向所述N型衬底延伸的P型高掺杂区、位于所述终端区域的N型外延层中连接所述P型主结且朝向所述N型衬底延伸的第一P型柱、连接所述第一P型柱远离所述P型高掺杂区一侧的沿平行所述N型衬底的水平方向延伸的第二P型柱、位于所述终端区域的N型外延层表面且连接所述P型高掺杂区远离所述有源区域一侧的表面P型区域、及位于所述表面P型区域上方且具有可动电荷的第一厚氧层。
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