[发明专利]一种用于薄膜晶体管的立式镀膜生产线在审
| 申请号： | 201711329158.3 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109913845A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;祝海生;陈立;凌云;黄夏;孙桂红;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/58;H01L27/12;H01L27/32 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种立式镀膜生产线为连续镀膜生产线，其中，包括TFT蒸镀室、OLED蒸镀室和后处理腔室，各蒸镀室通过传动辊连接成一个连续镀膜生产线，生产线上的各蒸镀室之间设有缓冲和调解腔室，以及收卷和放卷装置等辅助腔室，每个蒸镀室与周围的辅助腔室构成一个镀膜子线。本发明采用立式薄膜基材的展开方式，使得薄膜在镀膜过程中减少了环境中杂质对镀膜质量的影响，并且将膜面与生产线的接触降到最低，避免了膜面接触其他物体后破坏膜层的均匀性，巧妙地将OLED屏幕的各层处理方式结合起来，形成了一个完整的生产线，大大提高了生产效率，且一体化的生产过程降低了生产过程中的消耗，节能环保，生产的膜层质量更好。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀室 立式镀膜生产线 连续镀膜生产线 辅助腔室 生产过程 镀膜 膜层 膜面 腔室 薄膜晶体管 后处理 薄膜基材 处理方式 镀膜过程 放卷装置 节能环保 生产效率 传动辊 均匀性 缓冲 收卷 子线 薄膜 消耗 一体化 调解 生产 | ||
【主权项】：
1.一种立式镀膜生产线为连续镀膜生产线，其特征在于：包括TFT蒸镀室、OLED蒸镀室和后处理腔室，各蒸镀室通过传动辊连接成一个连续镀膜生产线，生产线上的各蒸镀室之间设有缓冲和调解腔室，以及收卷和放卷装置等辅助腔室，每个蒸镀室与周围的辅助腔室构成一个镀膜子线。
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