[发明专利]基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质有效
| 申请号： | 201711332926.0 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN108221019B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 横山俊夫;向山佳孝;对马拓也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质。本发明的基板装卸装置是利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。 | ||
| 搜索关键词： | 装卸 装置 及其 控制 镀覆 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种基板装卸装置，利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件对基板进行夹持来保持所述基板，该基板装卸装置的特征在于，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，该第二保持器保持装置以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。
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