[发明专利]一种微小元件高低温形变测量装置在审
| 申请号： | 201711333792.4 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108195297A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 单勇革;李永春 | 申请（专利权）人： | 太原航空仪表有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 王中兴 |
| 地址： | 030006 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微小元件高低温形变测量装置，包括检测舱室、光幕测量仪、可变焦形变测量仪、冷热风通风装置；其中，检测舱室为立方体全透明舱室，采用真空玻璃制成，真空玻璃的内外壁附有透明加热膜，具有加温除冰功能；检测舱室的一面设置有舱门，舱门与检测舱室相连接部位设置有密封条；所述舱门的制造材料与检测舱室相同，其内外壁附有透明加热膜；检测舱室的一面同时设有进气孔、出气孔和温度传感器入口；在检测舱室外，舱门背对面放置可变焦形变测量仪；在检测舱室左右上下四面的外面放置两组光幕测量仪；所述冷热风通风装置通过进气孔吹入所需的冷热风；被测微小元件置于检测舱室内部，实现对微小元件在高低温环境下全方位形变测量。 | ||
| 搜索关键词： | 舱室 检测 微小元件 舱门 冷热风 形变测量装置 透明加热膜 形变测量仪 通风装置 真空玻璃 测量仪 高低温 进气孔 可变焦 内外壁 光幕 密封条 高低温环境 温度传感器 连接部位 形变测量 制造材料 出气孔 检测舱 全透明 除冰 吹入 加温 两组 四面 室外 | ||
【主权项】：
1.一种微小元件高低温形变测量装置，其特征为：所述微小元件高低温形变测量装置包括检测舱室、光幕测量仪、可变焦形变测量仪、冷热风通风装置；其中，检测舱室为立方体全透明舱室，采用真空玻璃制成，真空玻璃的内外壁附有透明加热膜，具有加温除冰功能；检测舱室的一面设置有舱门，舱门与检测舱室相连接部位设置有密封条；所述舱门的制造材料与检测舱室相同，其内外壁附有透明加热膜；检测舱室的一面同时设有进气孔、出气孔和温度传感器入口；在检测舱室外，舱门背对面放置可变焦形变测量仪；在检测舱室左右上下四面的外面放置两组光幕测量仪；所述冷热风通风装置通过进气孔吹入所需的冷热风；被测微小元件置于检测舱室内部，实现对微小元件在高低温环境下全方位形变测量。
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