[发明专利]提升管式PECVD工艺产能的方法及其应用在审

专利信息
申请号: 201711336123.2 申请日: 2017-12-14
公开(公告)号: CN108048821A 公开(公告)日: 2018-05-18
发明(设计)人: 王斌;何悦;周东;王在发;任勇 申请(专利权)人: 尚德太阳能电力有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/513
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 王洁;郑暄
地址: 201114 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种提升管式PECVD工艺产能的方法,所述的方法包括:镀膜后抽真空并控制系统的温度,使得炉管保持持续加热状态。本发明还涉及一种管式PECVD工艺产能的方法的应用。采用了本发明的提升管式PECVD工艺产能的方法,摒弃传统工艺技术,从非镀膜工艺流程(镀膜后辅助流程)上实现工艺运行时间缩短,从而实现产能提升;实际工艺运行起始温度能够提高30℃,升温步骤可节约时间3min(调整前升温耗时8~10min,调整后升温耗时5~7min)。
搜索关键词: 提升 pecvd 工艺 产能 方法 及其 应用
【主权项】:
1.一种提升管式PECVD工艺产能的方法,其特征在于,所述的方法包括:镀膜后抽真空并控制系统的温度,使得炉管保持持续加热状态。
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