[发明专利]TFT-LCD玻璃基板双面镀膜生产线在审
| 申请号： | 201711336507.4 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957776A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;祝海生;陈立;凌云;黄夏;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/50;C23C14/02;C03C17/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种TFT‑LCD玻璃基板双面镀膜生产线，包括依次进口室、酸洗室、溅镀室和旋转室，以及与酸洗室连接的水洗室；溅镀室与旋转室连接，所述旋转室包括传送仓和旋转仓，所述旋转仓包括旋转组件、传送组件和支撑组件，玻璃基片安装于基片架上，所述传送组件和支撑组件安装于旋转组件上，所述旋转组件带动传送组件和支撑组件转动，所述基片架通过传送仓送至支撑组件，所述旋转组件带动支撑组件和基片架转动，转向后的基片架通过传送仓返回溅镀室。本发明的TFT‑LCD玻璃基板双面镀膜生产线，能够进行旋转翻面，自动化程度高，工艺程序连贯，提高了产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑组件 旋转组件 基片架 传送组件 双面镀膜 传送仓 溅镀室 旋转室 酸洗室 旋转仓 转动 玻璃基片 工艺程序 进口室 水洗室 翻面 基板 良率 连贯 自动化 返回 | ||
【主权项】：
1.一种TFT‑LCD玻璃基板双面镀膜生产线，其特征在于，包括依次进口室、酸洗室、溅镀室和旋转室，以及与酸洗室连接的水洗室；溅镀室与旋转室连接，所述旋转室包括传送仓(7)和旋转仓(8)，所述旋转仓(8)包括旋转组件、传送组件和支撑组件，玻璃基片安装于基片架(6)上，所述传送组件和支撑组件安装于旋转组件上，所述旋转组件带动传送组件和支撑组件转动，所述基片架(6)通过传送仓(7)送至支撑组件，所述旋转组件带动支撑组件和基片架(6)转动，转向后的基片架(6)通过传送仓(7)返回溅镀室。
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