[发明专利]用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置在审
| 申请号： | 201711336533.7 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109954365A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李建霖;曾伟庭;高浩鑫;洪伟珉 | 申请（专利权）人： | 汉科系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D53/02;B01D53/18 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 史瞳;許榮文 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，适用于处理来自湿式蚀刻清洗台的排气中的醇类，并包含入口部及过滤部。所述入口部做为所述来自湿式蚀刻清洗台的排气的入口。所述过滤部衔接于所述入口部的出口，并包括化学滤材。所述化学滤材用于吸附来自所述入口部的排气中的醇类，例如异丙醇(IPA)等。所述化学滤材为经改质过后的活性碳。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 湿式蚀刻 清洗台 入口部 化学滤材 洗涤装置 高吸附 醇类 过滤 活性碳 异丙醇 吸附 衔接 出口 | ||
【主权项】：
1.一种用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置，适用于处理来自湿式蚀刻清洗台的排气中的醇类，并包含入口部，所述入口部做为所述来自湿式蚀刻清洗台的排气的入口，其特征在于，所述用于湿式蚀刻清洗台的排气的高吸附洗涤装置还包含过滤部，所述过滤部衔接于所述入口部的出口，并包括化学滤材，所述化学滤材用于吸附来自所述入口部的排气中的醇类，且为经改质过后的活性碳。
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