[发明专利]一种提高PCVD工艺沉积均匀性的方法

摘要

本发明涉及一种提高PCVD工艺沉积均匀性的方法，将纯二氧化硅玻璃衬管的两端分别焊接气端延长管和泵端延长管，将焊接后的玻璃衬管装夹到PCVD车床旋转夹头上，玻璃衬管穿过微波谐振腔且玻璃衬管的沉积段位于保温炉炉膛内，旋转夹头带动玻璃衬管旋转，保温炉开始加温至设定的温度值，PCVD沉积开始，其特征在于在气端旋转夹头与保温炉气端炉口之间的气端延长管上增设一段预热管段，所述的预热管段近保温炉炉口，对应预热管段设置加温装置，通过加温装置对经过预热管段进入玻璃衬管沉积段的反应气体进行预热，预热后的反应气体进入玻璃衬管的沉积段参与沉积反应。本发明不仅可有效避免进气段沉积层裂纹的产生，而且能保持沉积均匀性，从而提高沉积芯棒的有效棒长。

主权项

1.一种提高PCVD工艺沉积均匀性的方法，将纯二氧化硅玻璃衬管的两端分别焊接气端延长管和泵端延长管，将焊接后的玻璃衬管装夹到PCVD车床上，玻璃衬管穿过微波谐振腔且玻璃衬管的沉积段位于保温炉炉膛内，玻璃衬管的两端分别与气端旋转夹头和泵端旋转夹头密封相连，旋转夹头带动玻璃衬管旋转，保温炉开始加温至设定的温度值，PCVD沉积开始，其特征在于在气端旋转夹头与保温炉气端炉口之间的气端延长管上增设一段预热管段，所述的预热管段近保温炉炉口，对应预热管段设置加温装置，通过加温装置对经过预热管段进入玻璃衬管沉积段的反应气体进行预热，预热后的反应气体进入玻璃衬管的沉积段参与沉积反应，直至沉积完毕。