[发明专利]基于线性蒸发器真空镀膜单体机在审
| 申请号： | 201711338221.X | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957761A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;黄乐;陈立;黄国兴;凌云;黄夏;孙桂红 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 张超宇;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于线性蒸发器真空镀膜单体机，包括一镀膜区、一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于镀膜区两侧，所述蒸发器和基片平行的对立设置于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸。本发明提供的基于线性蒸发器真空镀膜单体机利用三步共蒸发工艺制备铜铟镓硒薄膜，采用基于线型蒸发器的立式共蒸发系统来实现制备尺寸不小于40×60cm2的铜铟镓硒薄膜，实现二维尺度上大面积薄膜的均匀生长。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 线性蒸发器 真空镀膜 喷嘴 单体机 蒸发器 铜铟镓硒薄膜 加热管道 镀膜区 共蒸发 缓冲部 大面积薄膜 线型蒸发器 对立设置 二维尺度 方向延伸 工艺制备 壳体中部 顶面 壳体 蒸镀 制备 平行 生长 | ||
【主权项】：
1.基于线性蒸发器真空镀膜单体机，其特征在于：包括一镀膜区、一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于镀膜区两侧，所述蒸发器和基片平行的对立设置于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸。
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