[发明专利]一种集成电致变色与电双层电容结构的器件及其激光加工方法有效
申请号: | 201711338833.9 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN108169975B | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 康海云 | 申请(专利权)人: | 江苏晟泰高新材料有限公司 |
主分类号: | G02F1/15 | 分类号: | G02F1/15;G02F1/153 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种集成电致变色与电双层电容结构的器件及其激光加工方法,由第一基板、第一透明导电层、电致变色单元、电双层电容单元、第二透明导电层、黏着胶层和第二基板组成,第一透明导电层固定连接在第一基板的上端部,第二透明导电层安装在第一透明导电层的上端部,电致变色单元与电双层电容单元固定连接在第一透明导电层和第二透明导电层的中间,黏着胶层固定连接在第二透明导电层的上端部,第二基板固定安装在黏着胶层的上端部。本发明在同一基板上所集成的电致变色单元与电双层电容单元,乃是以两个波段的激光进行去膜划线工艺,以定义出两个区域的下电极与上电极,以实现电致变色单元与电双层电容单元的并联或串联。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 变色 双层 电容 结构 器件 及其 激光 加工 方法 | ||
(1)制备第一透明导电层,在第一基板上完成第一透明导电层的镀膜,制备方法采用真空镀膜或者非真空镀膜,所述真空镀膜包括蒸镀、物理溅射、化学气相沉积方法,所述非真空镀膜包括喷涂或者涂布;
(2)采用1064nm短脉冲激光去膜划线工艺,定义电致变色单元与电双层电容单元的各自电极;
(3)在第一透明导电层上依次制备电致变色层、电解质层,所述制备方法采用真空镀膜或者非真空镀膜,所述真空镀膜包括蒸镀、物理溅射、化学气相沉积方法,所述非真空镀膜包括喷涂或者涂布;
(4)在电致变色单元的电解质层中注入离子,所述离子包括锂离子、钠离子、钾离子、氢离子中的一种;
(5)在电致变色单元与电双层电容单元的电解质层上制备离子储存层,所述制备方法采用真空镀膜或者非真空镀膜,所述真空镀膜包括蒸镀、物理溅射、化学气相沉积方法,所述非真空镀膜包括喷涂或者涂布;
(6)采用300‑360nm激光去膜划线,定义出电致变色单元与电双层电容单元的各自区域;
(7)制备第二透明导电层,所述制备方法采用真空镀膜或者非真空镀膜,所述真空镀膜包括蒸镀、物理溅射、化学气相沉积方法,所述非真空镀膜包括喷涂或者涂布;
(8)电极接线,以黏着胶将第二基板与制备完成的电致变色单元、电双层电容单元进行胶合。
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