[发明专利]一种化学改性液与化学机械微细磨削加工方法在审
| 申请号： | 201711339341.1 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108098460A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 任莹晖;李伟;周志雄;韩旭;蒋香云 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410082 湖南省长沙市岳麓*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种针对硅、碳化硅、石英玻璃等硅基硬脆材料微小零件加工的化学改性液及化学机械微细磨削加工方法。所述化学改性液按质量分数计由以下成分组成：10～20份碳酸钠；10～20份过氧化氢；2～4份钨酸钠；2～4份三乙醇胺；2～4份二乙醇胺；4～8份聚乙二醇；4～8份六次甲基四胺；4～8份苯并三氮唑；1～2份乙二胺四乙酸二钠；2～4份烷基酚聚氧乙烯醚；2～4份石油磺酸钡；2～4份石油磺酸镁；2～4份石油磺酸胺；2～4份石油磺酸铵；90～180份去离子水，所述化学改性液用于硅基材料微小零件的微细磨削加工中，能够改性软化工件材料，从而实现硅基材料复杂结构微小零件的高几何精度、高表面质量及高效率加工，且加工方法简单方便，成本低廉，完全满足工业化生产要求。 | ||
| 搜索关键词： | 化学改性液 磨削加工 微小零件 微细 硅基材料 化学机械 烷基酚聚氧乙烯醚 乙二胺四乙酸二钠 加工 工业化生产要求 六次甲基四胺 苯并三氮唑 石油磺酸胺 石油磺酸钡 石油磺酸镁 石油磺酸铵 二乙醇胺 复杂结构 工件材料 过氧化氢 聚乙二醇 去离子水 三乙醇胺 石英玻璃 硬脆材料 高表面 高效率 碳化硅 碳酸钠 钨酸钠 改性 硅基 软化 | ||
【主权项】：
1.一种化学改性液与化学机械微细磨削加工方法，其特征在于所述的化学改性液的成分及其质量分数如下：10～20份碳酸钠；10～20份过氧化氢；2～4份钨酸钠；2～4份三乙醇胺；2～4份二乙醇胺；4～8份聚乙二醇；4～8份六次甲基四胺；4～8份苯并三氮唑；1～2份乙二胺四乙酸二钠；2～4份烷基酚聚氧乙烯醚；2～4份石油磺酸钡；2～4份石油磺酸镁；2～4份石油磺酸胺；2～4份石油磺酸铵；90～180份去离子水，所述的化学改性液用于所述的化学机械微细磨削加工方法，所述的化学改性液在机械应力、磨削热耦合作用条件下能够与硅、碳化硅、石英玻璃等硅基材料发生化学反应，生成硬度及脆性更小的硅酸盐层。
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