[发明专利]基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对测距装置与方法有效
申请号: | 201711339452.2 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN108120378B | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 陈本永;张世华;严利平 | 申请(专利权)人: | 浙江理工大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林超 |
地址: | 310018 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对测距装置与方法。包括光源系统、正弦相位调制干涉系统和信号处理系统;光源系统输出包含不同波长的两路激光光束,射向正弦相位调制干涉系统,干涉光束射向信号处理系统进行相位解调,根据频率扫描干涉和多波长干涉原理得到待测距离;FSI中频率扫描范围和MWI中每个波长的值都由飞秒光频梳标定,将距离测量直接溯源至时间频率基准。本发明光路结构简单、测量范围大、精度高,可用于大型装备制造、精密计量等领域。 | ||
搜索关键词: | 基于 飞秒光频梳 正弦 相位 调制 干涉 绝对 测距 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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