[发明专利]硬掩模用组合物在审
| 申请号： | 201711340198.8 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108227386A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 崔汉永;梁敦植;梁振锡;朴根永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明提供一种硬掩模用组合物，该硬掩模用组合物包含下述化学式1所表示聚合物和溶剂，下述化学式1所表示聚合物包含含有芘系单元和咔唑系单元中的至少一种的第一单元、以及含有甲苯基或联苯基的第二单元。由该硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、溶解性和平坦性同时提高的硬掩模。化学式1中，Ar1表示所述第一单元，Ar2表示所述第二单元，n为2～100的整数。化学式1 |
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| 搜索关键词： | 硬掩模 聚合物 耐蚀刻性 甲苯基 联苯基 溶剂 咔唑 | ||
【主权项】：
1.一种硬掩模用组合物，其包含下述化学式1所表示的聚合物和溶剂，所述化学式1所表示的聚合物包含含有芘系单元和咔唑系单元中的至少一种的第一单元、以及含有甲苯基或联苯基的第二单元，化学式1![]()
化学式1中，Ar1表示所述第一单元，Ar2表示所述第二单元，n为2～100的整数。
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