[发明专利]应用于柔性基板制作的涂布液供给装置有效
| 申请号： | 201711341240.8 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108097545B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 张纯 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，包括外壳、设于所述外壳内的涂布液存储容器以及与所述外壳连通的真空发生装置，所述外壳上开设有涂布液进口、涂布液出口，所述涂布液存储容器同时与所述涂布液进口、所述涂布液出口连通，并与所述外壳围成密闭的腔体；所述真空发生装置与所述腔体连通，以对所述腔体加压使所述涂布液存储容器容积变小而将涂布液从所述涂布液出口压出。本发明的涂布液供给装置结构简单，涂布液不与气体压缩腔直接接触，无需对密闭腔体进行高精度的处理或研磨，制造成本低，不会产生微粒，且涂布液吐出流量大，可以适用于高世代的基板的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 柔性 制作 涂布液 供给 装置 | ||
【主权项】：
1.一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，其特征在于，包括外壳(10)、设于所述外壳(10)内的涂布液存储容器(20)以及与所述外壳(20)连通的真空发生装置(30)，所述外壳(10)上开设有涂布液进口(11)、涂布液出口(12)，所述涂布液存储容器(20)同时与所述涂布液进口(11)、所述涂布液出口(12)连通，并与所述外壳(10)围成密闭的腔体(100)；所述真空发生装置(30)与所述腔体(100)连通，以对所述腔体(100)加压使所述涂布液存储容器(20)容积变小而将涂布液从所述涂布液出口(12)压出。
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