[发明专利]一种预设边框的涂胶方法在审

专利信息
申请号: 201711341559.0 申请日: 2017-12-14
公开(公告)号: CN107908075A 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 唐紫佳;王学雷;仝建军;李伟界;黄伟东;李建华 申请(专利权)人: 信利(惠州)智能显示有限公司
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司44102 代理人: 杨利娟
地址: 516029 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种预设边框的涂胶方法,具体包括如下步骤S1、对基板正反两面进行清洗,并使其干燥;S2、对基板正反两面的边缘处浸涂不沾涂料并置于高温条件下使其固化成型;S3、在基板上涂覆光刻胶;S4、待光刻胶固化成型后,对其进行曝光处理,使被曝光区域的光刻胶发生反应;S5、利用光刻胶显影液去除基板上未经曝光处理的光刻胶;S6、采用刻蚀液或气体去除裸露的基板,并选取适当的剥膜液去除裸露基板上的残留光刻胶。上述涂胶方法在光刻胶涂覆之前于基板正反两面的边缘浸涂不沾涂料,不沾涂料固化成型后即形成基板边框,使基板在后续光刻胶涂覆过程中不会残留有光刻胶或异物。
搜索关键词: 一种 预设 边框 涂胶 方法
【主权项】:
一种预设边框的涂胶方法,其特征在于,具体包括如下步骤:S1、对基板正反两面进行清洗,并使其干燥;S2、对基板正反两面的边缘处浸涂不沾涂料并置于高温条件下使其固化成型;S3、在基板上涂覆光刻胶;S4、待光刻胶固化成型后,对其进行曝光处理,使被曝光区域的光刻胶发生反应;S5、利用光刻胶显影液去除基板上未经曝光处理的光刻胶;S6、采用刻蚀液或气体去除裸露的基板,并选取适当的剥膜液去除裸露基板上的残留光刻胶。
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