[发明专利]汽车玻璃立式复合膜系连续磁控溅射生产线在审
| 申请号： | 201711342045.7 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957781A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;祝海生;孙桂红;陈立;凌云;黄夏;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 熊娴;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了汽车玻璃立式复合膜系连续磁控溅射生产线，包括进料段和出料段，所述进料段由前向后依次连接一组初真空室、低真空室、中真空室和高真空室，所述出料段有钱向后依次连接另一组高真空室、中真空室、低真空室和初真空室，所述溅射室包括至少一个镀膜分区，每个镀膜分区设有至少一旋转阴极装置，所述旋转阴极装置与一角度调节装置连接，所述角度调节装置通过若干沿着纵向轴线伸展的连接臂与镀膜分区的阳极箱体连接。本发明提供的汽车玻璃立式复合膜系连续磁控溅射生产线能够实现各类镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强，特别适合大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 镀膜 磁控溅射生产线 汽车玻璃 复合膜 角度调节装置 低真空室 高真空室 旋转阴极 依次连接 分区 出料段 进料段 大规模工业化生产 低成本生产 阳极 溅射沉积 通用性强 箱体连接 由前向后 纵向轴线 溅射室 连接臂 向后 伸展 | ||
【主权项】：
1.汽车玻璃立式复合膜系连续磁控溅射生产线，其特征在于：包括进料段和出料段，所述进料段由前向后依次连接一组初真空室、低真空室、中真空室和高真空室，所述出料段有钱向后依次连接另一组高真空室、中真空室、低真空室和初真空室，在进料段和出料段的高真空室与中真空室之间连续连接至少两溅射室，各室内均贯穿安装传送辊，所述溅射室包括至少一个镀膜分区，每个镀膜分区设有至少一旋转阴极装置，所述旋转阴极装置与一角度调节装置(61)连接，所述角度调节装置(61)通过若干沿着纵向轴线伸展的连接臂与镀膜分区的阳极箱体连接。
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