[发明专利]彩色滤光片基板及其制作方法

摘要

本发明提供一种彩色滤光片基板及其制作方法。本发明的彩色滤光片基板的制作方法采用半色调光罩制程来制作彩色滤光层，在制作彩色滤光层的过程中制得柱状隔垫物，能够节省一道单独制作柱状隔垫物的工艺制程，节省了制作柱状隔垫物的光阻材料与光罩，从而降低生产成本；另外，由于该制作方法简化了彩色滤光片基板的制备工艺，从而能够提高生产效率，提高生产产能。本发明的彩色滤光片基板采用堆叠色阻层的方式来制作柱状隔垫物，使得柱状隔垫物与彩色滤光层能够在同一制程中形成，从而简化彩色滤光片基板的制备工艺，降低生产成本，并且提高生产效率，提高生产产能。

主权项

1.一种彩色滤光片基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供衬底基板(10)，在所述衬底基板(10)上形成黑色矩阵(20)，所述黑色矩阵(20)在所述衬底基板(10)上围出间隔设置的数个子像素区，所述数个子像素区包括第一子像素区(11)、第二子像素区(12)、第三子像素区(13)；步骤2、在所述衬底基板(10)上形成彩色滤光层(30)，在制作彩色滤光层(30)的过程中形成位于黑色矩阵(20)上的柱状隔垫物(40)；所述彩色滤光层(30)包括位于第一子像素区(11)内的第一色阻单元(31)、位于第二子像素区(12)内的第二色阻单元(32)、位于第三子像素区(13)内的第三色阻单元(33)；所述柱状隔垫物(40)由第一隔垫物单元(41)、第二隔垫物单元(42)、第三隔垫物单元(43)中的一层或者多层叠加形成；所述第一色阻单元(31)与第一隔垫物单元(41)均由第一色阻层(51)构成；所述第二色阻单元(32)与第二隔垫物单元(42)均由第二色阻层(52)构成；所述第三色阻单元(33)与第三隔垫物单元(43)均由第三色阻层(53)构成；步骤3、在所述衬底基板(10)、彩色滤光层(30)、黑色矩阵(20)、柱状隔垫物(40)上沉积透明导电薄膜(70)，形成位于所述衬底基板(10)、彩色滤光层(30)与黑色矩阵(20)上的公共电极(71)以及位于所述柱状隔垫物(40)上的透明导电层(72)，所述公共电极(71)与透明导电层(72)断开不相连。