[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201711342741.8 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108130513B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 匡友元 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;H01L51/56 |
| 代理公司： | 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 | 代理人： | 林才桂<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置及蒸镀方法。该蒸镀装置包括材料放置腔、设于材料放置腔外侧的涡流加热腔、设于材料放置腔与涡流加热腔之间的冷却控制层、设于涡流加热腔外侧的隔热层及设于隔热层外侧的线圈，涡流加热腔内填充有导电材料，进行蒸镀时，在材料放置腔内放入待蒸镀材料，并向线圈通入交变电流，在涡流加热腔内的导电材料上形成涡电流，使导电材料被加热熔化成液体并向材料放置腔辐射热量，而冷却控制层通入冷却液，通过调节通入冷却液的流量控制熔化成液体的导电材料辐射至材料放置腔的热量，使材料放置腔内的待蒸镀材料均匀升温，能够消除蒸镀时的纵向温差，提高蒸镀制得的OLED器件的发光效率及OLED面板的显示效果。 | ||
| 搜索关键词： | 材料放置腔 涡流加热 蒸镀 导电材料 蒸镀装置 冷却控制 蒸镀材料 隔热层 冷却液 熔化 发光效率 辐射热量 加热熔化 交变电流 流量控制 腔内填充 显示效果 纵向温差 涡电流 放入 腔内 辐射 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括材料放置腔(10)、设于材料放置腔(10)外侧的涡流加热腔(30)、设于材料放置腔(10)与涡流加热腔(30)之间的冷却控制层(20)、设于涡流加热腔(30)外侧的隔热层(40)及设于隔热层(40)外侧的线圈(50)；所述涡流加热腔(30)内填充有导电材料(31)；/n所述线圈(50)用于通入交变电流，在涡流加热腔(30)内的导电材料(31)上形成涡电流，使导电材料(31)被加热熔化成液体；/n所述冷却控制层(20)用于通入冷却液(201)，通过调节通入冷却液(201)的流量控制熔化成液体的导电材料(31)辐射至材料放置腔(10)的热量；/n所述冷却控制层(20)内设有冷却液管道(21)，所述冷却液(201)通入冷却液管道(21)中，通过调节通入冷却液管道(21)的冷却液(201)的流量控制熔化成液体的导电材料(31)辐射至材料放置腔(10)的热量。/n
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